真空衰減法基于真空傳感技術(shù)，具體測(cè)試過程，將leak-S微泄漏密封測(cè)試儀主機(jī)連接到一個(gè)特別設(shè)計(jì)用來容納需要被測(cè)物的測(cè)試腔內(nèi)。儀器對(duì)測(cè)試腔進(jìn)行抽真空，包裝物內(nèi)外形成壓力差，在壓力的作用下包裝物內(nèi)氣體通過漏孔擴(kuò)散至測(cè)試腔內(nèi)，真空傳感器技術(shù)檢測(cè)時(shí)間和壓力的變化關(guān)系，與標(biāo)準(zhǔn)值進(jìn)行比較，從而判斷試樣是否泄漏。可用于各種液體（負(fù)壓、常壓）有顏色無顏色包裝系統(tǒng)的非破壞性檢測(cè)，如西林瓶、安瓿瓶、BFS、輸液瓶、輸液袋、預(yù)灌封注射器、滴眼劑瓶、卡式瓶等。不適用于混懸液、乳狀液（如蛋白質(zhì)）、高粘度物質(zhì)（如糖漿）等容易堵塞泄漏通道的產(chǎn)品。